瓷砖百科 您现在的位置: 主页 > 新闻中心 > 瓷砖百科 >

凝结磨料研磨抛光加工微晶玻璃的工艺钻研

发布者:admin 发布时间:2018-01-01 11:28

  幸运农场手机版微晶玻璃是一种很好的布局资料,拥有优良的机器机能和较高温度下的化学不变性,因此惹起人们的普遍留意。近年来,跟着计较机手艺的飞速成长对计较机的外部存储器,作为硬盘基板新的资料的微晶玻璃在计较机成长中越来遭到青睐。因为微晶玻璃微观构成中的结晶相与玻璃相的布局、化学身分都不不异,显微硬度也很是高,保守的加工方式难以加工出亚纳米级滑腻概况,因此化学机器抛光(CMP)成为独一无效用于加工微晶玻璃的手艺。因而,摸索采用凝结磨料抛光垫研磨抛光微晶玻璃的工艺方式,可认为微晶玻璃超细密加工工艺的制定供给根据。

  采用去离子水和其它化学增添剂作为抛光液,省去了保守游离磨料抛光中抛光浆料和悬浮微粒的处置以及pH值的变迁形成磨粒机能不不变及沉淀等问题,简化了保守游离磨料抛光中抛光废液的处置,拥有绿色环保的特点[2]。本尝试中所利用的抛光液仅为去离子水。

  目前国表里次如果按照微晶玻璃特殊的微观构成布局和机能特点,对其概况进行细密和超细密的磨削加工,从而到达纳米级的概况品质战争面度。中科院长春景机所韩荣久等人的钻研表白,微晶玻璃的晶粒尺寸大约为30~40nm。因而,要实现其原子量级的去除,得到超滑腻概况,必需采用纳米级的抛光磨料。微晶玻璃概况原子在磨料微粒的撞击感化下离开工件主体,从而被去除。而原子的去除历程则是磨料与工件在原子程度的碰撞、扩散和弥补历程。因而研磨和抛光加工是现阶段加工微晶玻璃的次要工艺方式。

  高空殊效玻璃桥23日将在芜湖开放高空殊效玻璃桥“飞龙在天”将于本月23日对外开放。

  (1)阐发了微晶玻璃的成长环境、布局构成和国表里对付微晶玻璃的钻研功效,论述了微晶玻璃作为一种新型资料的广漠使用前景和成长潜力。

  研磨抛光试验在PHL-350型平面高速研磨抛光体系长进行,为了提高研磨盘的平面度,减小举动偏差,凡是在加工之前将研磨盘两两互研,并用刀口尺查抄研磨盘的平面度,以包管被加工工件的概况品质。

  别离拔取转速ω1为100rpm,150rpm,200rpm,其他加工参数如下:P=0.075Mpa,e=70mm,对微晶玻璃片进行研磨,每片的研磨时间为10min。研磨前后用酒精洗濯概况,烘干后别离在工件两头、中部、边沿3个位置取2个丈量点丈量其Sa和Ra,取均匀值,计较尺度差,阐发3种转速下研磨加工微晶玻璃分歧位置处的概况粗拙度比拟成果,能够看出:1)转速对微晶玻璃粗拙度值的影响出现正态漫衍,转速恰当提高有益于不变微晶玻璃粗拙度值。2)微晶玻璃加工后的粗拙度边沿位置要较着优于中部和两头位置。

  分析上述比拟成果可知,用凝结磨料研磨加工微晶玻璃能够得到优于保守加工体例的概况品质。而从分歧压力、转速、偏疼距下研磨微晶玻璃所得到的Sa,Ra和Pv值的比拟阐发可知,按照加工的要求正当取舍压力、转速、偏疼距等次要工艺参数。

  微晶玻璃以优秀的物理特征被普遍用于各个范畴,因而对付微晶玻璃的钻研有着严重的意思。因而本文开展了,借助尝试钻研、理论阐发等手段,深切地钻研了凝结磨料研磨抛光加工微晶玻璃的工艺方式和工艺参数,以处理保守的加工体例难加工资料的问题[3]。现将本文完成的事情和钻研功效总结如下:

  (2)通过尝试的方式探究了凝结磨料研磨抛光加工微晶玻璃的加工工艺和次要工艺参数,钻研所获得结论如下:压力、转速、偏疼距是凝结磨料研磨加工微晶玻璃的次要加工参数,这些参数的变迁会影响概况品质,该当分析加工要求、精度要乞降经济性要求来正当取舍。

  别离拔取偏疼距e为50mm,70mm,90mm,其他加工参数如下:P=0.075Mpa,ω1=150rpm,对微晶玻璃片进行研磨,每片的研磨时间为10min。研磨前后用酒精洗濯概况,烘干后别离在工件两头、中部、边沿3个位置取2个丈量点丈量其Sa和Ra,取均匀值,计较尺度差,阐发3种偏疼距下研磨加工微晶玻璃分歧位置处的概况粗拙度比拟成果,能够看出:1)偏疼距增大,研磨速率添加,能够得到更高的概况精度。2)边沿部位的概况粗拙度较两头和中部更低。

  别离拔取压力P为0.05Mpa,0.075Mpa,0.1Mpa,其他参数如下:ω1=150rpm,e=70mm,对微晶玻璃片进行研磨,每片的研磨时间为10min。研磨前后用酒精洗濯概况,烘干后别离在工件两头、中部、边沿3个位置取2个丈量点丈量其Sa和Ra,取均匀值,计较尺度差,阐发3种压力下研磨加工微晶玻璃分歧位置处的概况粗拙度比拟成果,能够看出:1)压力的变迁会影响微晶玻璃研磨的粗拙度,过高的压力晦气于研磨抛光微晶玻璃概况品质的提高。2)微晶玻璃加工后的粗拙度边沿位置要优于中部和两头位置,操纵凝结磨料加工微晶玻璃时压力不该过高。

  抛光垫在CMP历程中拥有储存抛光液并把它们运送到工件的整个加工区域、维持抛光所需的机器和化学情况、传送资料去除所需的机器载荷等感化[1]。因而,本文采用粒度为W14的金刚石亲水性FAP作为抛光垫,以实现高效高质低本钱的CMP加东西有主要的意思。

  下图是在东西显微镜1500倍率察看下的颠末凝结磨料研磨加工后的微晶玻璃概况描摹,从中能够看出其研磨后的概况险些满是无奈则的点坑,却没有划痕,这申明微晶玻璃在研磨历程中资料的去除体例次如果脆性去除,而不是塑性去除,从而也申了然微晶玻璃属于脆硬资料,其布局属于多晶体,因而采用凝结磨料研磨加工的体例很是适合。

  被加工工件概况品质是作为评价FAP加工机能的另一主要目标,包罗工件三维轮廓概况粗拙度Sa,Ra和工件的平面度。此中,三维轮廓概况粗拙度Sa,Ra和局部平面度PV由ADEMicroXAM体系测得,丈量的范畴为868μm×646μm,扫面深度50nm,放大倍数为5×2.0。

  ①凡本网说明来历:中国玻璃网的所有文字、图片和音视频稿件,版权均为中国玻璃网独家所有,任何媒体、网站或小我在转载利用时必需说明来历中国玻璃网违反者本网将依法追查义务。 ②本网转载并说明其他来历的稿件,是本着为读者传送更多消息之目标,并不料味着附和其概念或证明其内容的实在性。其他媒体、网站或小我从本网转载利用时,必需保存本网说明的稿件来历,禁止私行窜改稿件来历,并自傲版权等法令义务。违反者本网也将依法追查义务。 ③ 如本网转载稿涉及版权等问题,请作者一周内来电或来函接洽。